Alumina Ceramic Robotic Arm voor Wafer Manufacturing
De aluminiumoxide keramische robotarm die speciaal is ontworpen voor de productie van wafers, is een zeer geavanceerde en cruciale component in de halfgeleiderindustrie.
Materiële eigenschappen
Deze robotarm is voornamelijk gemaakt van hoog zuiver aluminiumoxidekeramiek. Gewoonlijk is de hoeveelheid aluminiumoxide erin meer dan 95%. Dit geeft het echt goede mechanische kracht. Bij het hanteren van wafels, zoals wanneer het precies is om ze te positioneren en te verplaatsen, kan het grote spanningen en spanningen aan.
De Mohs -hardheid is ongeveer 9. Dat betekent dat het echt goed is in het weerstaan van krassen en versleten worden. Dit is echt belangrijk, want als er schade aan het oppervlak is, kan het verontreinigingen opleveren of de nauwkeurigheid verknoeien van hoe de wafels worden afgehandeld.
De thermische eigenschappen van het aluminiumoxidekeramiek zijn ook erg belangrijk. Het heeft een vrij lage thermische expansiecoëfficiënt, ongeveer 6 - 8 × 10⁻⁶ /° C. In de productie van wafers is het regelen van de temperatuur super kritisch. Dankzij deze stabiele grootte wanneer de temperatuur verandert, kan de robotarm precieze en herhaalbare bewegingen maken. Zelfs wanneer de temperatuur op en neer gaat, kan de arm zijn nauwkeurigheid behouden en ervoor zorgen dat de wafels worden geplaatst en verplaatst met het hoogste niveau van precisie.
Het heeft ook een goede thermische geleidbaarheid, tussen 15 - 30 w/(m · k). Hierdoor kan warmte effectief worden weggenomen. Het helpt de arm te stoppen en de delen dichtbij het niet te heet worden. Als ze te heet werden, kan dit problemen veroorzaken zoals storingen of schade aan de wafels.
Een ander belangrijk kenmerk is de uitstekende elektrische isolatie. De volumeweerstand is groter dan 10¹⁴ ω · cm. In de halfgeleideromgeving kunnen elektrostatische ontlading en elektrische interferentie echt slecht zijn voor de wafels en het hele productieproces. Maar de aluminiumoxide keramische robotarm werkt als een betrouwbaar schild. Het doet goed werk om elektrische stromen te scheiden, en dit beschermt de wafels en de gevoelige elektronische apparatuur in de buurt.
Ontwerp en functionaliteit
Het ontwerp van de robotarm is sterk geoptimaliseerd voor wafersproductietaken. Het heeft een slanke en gearticuleerde structuur die een breed scala aan bewegingen en precieze positionering mogelijk maakt. De eindeffector van de arm is zorgvuldig ontworpen om wafels voorzichtig en veilig te verwerken. Het kan een gespecialiseerd aangrijpende mechanisme hebben, zoals vacuümzuig- of zachte contactkussentjes, om ervoor te zorgen dat de wafels niet worden beschadigd tijdens de overdracht.
De robotarm is ook uitgerust met geavanceerde besturingssystemen. Met deze systemen kan het complexe en zeer nauwkeurige bewegingen uitvoeren, zoals het uitlijnen van wafels met microscopische precisie. De besturingsalgoritmen worden vaak verfijnd om rekening te houden met de specifieke vereisten van wafersproductie, inclusief het minimaliseren van trillingen en het waarborgen van soepele versnelling en vertraging.
Toepassingen en voordelen
In de productie van wafers wordt de keramische robotarm van aluminiumoxide in verschillende fasen gebruikt. Het is betrokken bij het overbrengen van wafels tussen verschillende verwerkingsstations, zoals van de wafelcassette naar de depositiekamers of etsentools. Door een precieze en betrouwbare afhandeling te bieden, helpt het om de algehele opbrengst en kwaliteit van de wafels te verbeteren. Het vermindert het risico op wafelbreuk of verkeerde uitlijning, wat kan leiden tot dure productieverliezen.
Bovendien maakt de weerstand tegen chemische corrosie het geschikt om te werken in de harde chemische omgevingen die vaak aanwezig zijn in wafersfabricagefaciliteiten. Het kan de blootstelling aan zuren, alkalis en andere chemicaliën die in de productieprocessen worden gebruikt, weerstaan zonder te verslechteren. Deze duurzaamheid en betrouwbaarheid dragen bij aan de continue en efficiënte werking van de wafelproductielijn, waardoor uiteindelijk de productiviteit en het concurrentievermogen van fabrikanten van halfgeleiders worden verbeterd.